구미전자기술연구소 "대향 타겟식 스퍼터 모듈" 국산화 개발
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구미전자기술연구소 "대향 타겟식 스퍼터 모듈" 국산화 개발
  • 온라인 뉴스팀
  • 승인 2007.05.02 22:47
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국내 장치 산업의 해외 의존도 탈피에 기여
[구미=경북라이브뉴스/이지폴뉴스]구미전자기술연구소(소장 양홍근)는 5월 2일 고품질 평판디스플레이용 박막제품을 제작할 수 있는 신 공정장비의 핵심모듈인 "대향 타겟식 스퍼터 모듈" 국산화 개발에 성공 하였다고 밝혔다..

이는 구미시가 구미산업단지의 주력업종인 디스플레이 산업과 중소기업의 열악한 R&D기능을 지원하고자 2004년부터 역점사업으로 추진중인 "핵심부품. 소재기술개발 사업"이 결실을 본 것이다.구미시는 이 사업에 3년간 18여억원을 투입하여 9개 과제는 완료하였으며 6개 과제는 수행중에 있다

연구소 관계자는 "평판디스플레이 산업은 세계적인 강국임에도 불구하고 진공장비 기술은 선진국에 비해 낙후되어 있는 실정이며, 특히, 진공증착 장비 중에서 가격과 실효성 면에서 우수한 스퍼터 장비는 보편적으로 사용하고 있음에도 불구하고 국내 제작은 40% 미만에 머무르고 있으며 그 핵심 모듈의 경우 대부분 수입에 의존하고 있다."고 말했다.

종래의 박막 제작용 스퍼터 장비의 경우 기판과 타겟이 동일한 플라스마 공간에 마주 보고 있어 플라스마에 의해 가속된 높은 에너지를 갖는 입자(ϓ-electrons, O-)들의 직접적인 기판 충돌로 인해 기 증착된 층의 손상이 발생하고 두께가 불균일 해 진다. 이로 인해 박막증착 후 추가 연마공정이 요구되고, 또한 불균일한 자장으로 인해 스퍼터용 타겟의 소모 영역이 특정부분에만 국한되어 타겟 효율이 저하되는 문제가 발생되는 단점이 있고 상대적으로 낮은 증착속도 등으로 인해 안정적인 박막의 품질 확보가 어려운 실정이었다.

<대향 타겟식 스퍼터 장비와 플라스마 형상>



이번 개발은 기존 일본 제품의 대향 타겟식 스퍼터 장비의 성능을 한층 업그레이드함으로써 플라스마 특성과 타겟 효율을 혁신적으로 향상시켜 저온공정으로 고품질의 박막증착이 가능하게 되었다. 구미전자기술연구소 모바일디스플레이센터는 경원대학교(김경환 교수), 참여기업인 다은테크, 미래테크노와 함께 고효율의 스퍼터 장비의 캐소드 모듈을 개발하기 위한 설계 및 제작, 자속밀도 시뮬레이션, 그리고 성능평가 기술을 확립하여 독자적인 기술력을 확보하였다.

이번 모델로 확보한 기술은 국․내외 학술대회 발표 및 특허 등록을 통해 지적재산권을 확보하였고 양산화를 위한 대면적 장치기술은 추가로 특허 출원 준비 중에 있다.

양홍근 소장은 “개발된 장치는 향후 플렉서블 디스플레이뿐만 아니라 태양전지 등의 분야에 적용 가능한 차세대 장치로 각광받을 것이고, 국내 장치 산업의 해외 의존도 탈피에 일익 기여할 수 있을 것으로 예상된다.”고 말했다.

경북 라이프뉴스/ 양원진기자 기자



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